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氫氣爐爐體采用全不銹鋼 SUS304 結(jié)構(gòu)，密封效果好，可通氫氣，氮氣，氬氣或其他惰性氣體?？烧婵諣顟B(tài)下使用?？刂葡到y(tǒng)可采用儀表控溫或觸摸屏系統(tǒng)。采用 PLC 控制，安全可靠。

熱誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積是用于各種電介質(zhì),半導(dǎo)體和金屬材料的保護(hù)涂層的沉積的有力方式，無論是單晶，多晶，無定形或外延狀態(tài)上或大或小的形態(tài)。典型的涂層材料包括熱解碳，碳化硅，氮化硼。通過使用合成前體，涂層非常純凈并目滿足半導(dǎo)體工業(yè)的典型要求，根據(jù)工藝參數(shù)，可以有多種層厚度，從單個或幾個原子層到厚度從10納米到數(shù)百微米的固體保護(hù)層或功能層，以及厚度達(dá)100微米的單片部件，甚至高達(dá)數(shù)毫米。